特定排出者の事業活動に伴う温室効果ガスの排出量の算定に関する省令 第8条の2
（特定排出者の事業活動に伴う三ふっ化窒素の排出量の算定に係る係数等）
特定排出者の事業活動に伴う温室効果ガスの排出量の算定に関する省令の全文・目次（平成十八年経済産業省・環境省令第三号）
第8条の2 （特定排出者の事業活動に伴う三ふっ化窒素の排出量の算定に係る係数等）
令別表第十三の一の項の下欄の環境省令・経済産業省令で定める係数は、〇・〇〇〇二〇とする。
２ 令別表第十三の二の項の下欄の環境省令・経済産業省令で定める係数は、次の各号に掲げる場合の区分に応じ当該各号に定めるとおりとする。 一半導体素子若しくは半導体集積回路の加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に際してリモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いている場合 〇・〇二 二半導体素子若しくは半導体集積回路の加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に際してリモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いていない場合 〇・二〇 三液晶デバイスの加工の工程におけるドライエッチング又はこの製造装置の洗浄に際してリモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いている場合 〇・〇三 四液晶デバイスの加工の工程におけるドライエッチング又はこの製造装置の洗浄に際してリモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いていない場合 〇・三〇
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